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字词	T005732　准分子激光微细加工技术
类别	中英文字词句释义及详细解析
释义	T005732　准分子激光微细加工技术张玉书等编著。吉林大学出版社1990年10月版。21．2万字。对准分子激光微细加工技术基础、应用实例及前景展望等作概要介绍，内容包括微细加工技术概念、准分子激光器、表面处理与掺杂、激光CVD技术、激光曝光技术、激光刻蚀等。
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