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韩阶平等著。
海洋出版社1990年3月版。10万字。分5部分：一、气相法加工SiO2图形；二、金属膜的气相腐蚀工艺；三、无显影气相光刻技术，不同光源和不同抗蚀剂的无显影光刻特性及原理；四、利用各种粒子对SiO2表面改性进行图形加工的方法；五、新型光刻胶及无显影光刻催化剂。
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