T005851　半导体器件制造工艺常用数据手册

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刘秀喜、高大江编。

电子工业出版社1992年9月版。97万字。内容有：物理常数、常用元素、工艺质量分析、器件可靠性、半导体检验、化学原理表面钝化、腐蚀剂、工艺配方、离子注入、掩模版、光致抗蚀剂、半导体材料、杂质及扩散源、金属材料、纯水、高纯气体、高纯化学试剂、玻璃材料、塑料、陶瓷材料、电热材料、温度测量、洁净室标准、工艺安全、器件命名方法、常用数学表、管壳外形标准化等。

每一部分数据都以表格形式绘出。