四氟化硅sifuhuagui

化学式SiF₄，无色有毒气体。密度为4.69g·L^-1，熔点为-90.2℃ (1.73×10⁵Pa)，沸点为-86℃，固体在-95.5℃时升华。四氟化硅在空气中因潮解而发烟，在冷冻下加压可凝成无色液体。遇水生成硅胶和氢氟酸，氢氟酸又与四氟化硅化合而生成六氟硅酸：

四氟化硅易被碱溶液分解：

四氟化硅可由单质之间反应制得：

也可由石英与氢氟酸反应，或由萤石粉和石英砂的混合物与浓硫酸作用来制得：

欲得极纯的四氟化硅，可将氟硅酸盐热分解：