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1974年，南开大学张春平、傅汝廉等研制成氮分子激光器。1975年，陈文驹、张桂兰等研究成有予电离的氮分子激光器，提高激光输出能量和稳定性。1990年，天津市激光所张帆、于世芬等研制成小型氮分子激光器，属国内先进水平。
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